9月20日,“增芯项目封顶仪式”在增城举行,这意味着国内首条MEMS 12英寸晶圆量产线的建设将进入下一个阶段。

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该项目进度如何?什么时候投产?增芯项目将成为广东省建设“集成电路第三极”的突破口?详情请看下文。

中国首条MEMS 12英寸量产线封顶,总投资370亿,明年6月1日投产!广东再添第三座智能传感器产业园!

据增芯科技官方公众号消息,昨日(9月20日)上午,广州增城智能传感器产业园发布暨增芯项目封顶活动在增城开发区增芯产业项目园举行。

增芯项目,全称为增芯12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目,是目前已知中国第一条在建的12英寸 MEMS 晶圆量产线。

该项目由广州智能传感器产业集团发起,增芯项目总投资达到370亿元,打造集研发、量产制造、封测与应用为一体的MEMS制造平台。目前建设的为一期项目,批复投资70亿元人民币,将建设月加工2万片12英寸的晶圆制造量产线。一期第二阶段达产后产能扩至6万片/月。

中国首条12英寸MEMS量产线封顶!经济第一大省在疯狂发展传感器!

▲增芯项目封顶,来源:大洋网

增芯项目占地面积达370亩,分两期建设。2022年12月,包括主厂房在内的一期项目宣布动工,到今年9月20日主体结构封顶,用时仅9个月零6天。

据广州增芯科技有限公司(以下简称“增芯科技”)总经理张亮透露,项目目前已转入机电安装阶段,计划今年12月开始设备搬入及装机,预计明年2024年6月通线,2025年12月达成月产能2万片目标。

中国首条12英寸MEMS量产线封顶!经济第一大省在疯狂发展传感器!

增芯科技是一家致力于建设国内第一家专业定制化12英寸智能传感器芯片制造企业,以力学、声学、微流控、生物等传感器件及配套 ASIC 芯片为主要产品,主要应用于汽车电子、物联网、类工业、消费电子等领域。

此前,增芯项目已与10家MEMS设计骨干企业签订合作协议,共同定制工艺设备、开发特色工艺技术,包括但不限于加速度传感器、惯性传感器、磁传感器、基因测试芯片、微流控芯片、硅基麦克风芯片等。

中国首条12英寸MEMS量产线封顶!经济第一大省在疯狂发展传感器!

▲增芯项目用地情况,来源:广州市规划和自然资源局

据广州市工信局对外公布《广州市半导体与集成电路产业发展行动计划(2022-2024年)》(以下简称《行动计划》),提出广州打造“一核两极多点”的半导体与集成电路产业格局。增城作为其中一极,定位为以传感器为核心的泛半导体产业集群发展区,重点发展智能传感器、半导体封测、半导体材料与设备等重点领域。

目前,广州增城已布局了增芯、越海等一批骨干项目,覆盖集成电路“四梁八柱”中制造、封测、装备、材料和平台等关键环节:落户项目14个,总投资约1215亿元,预计年产值约1296亿元。

预计到2030年,增城将实现智能传感器“研发设计-材料装备-生产制造-封装测试-终端应用”全产业链条集聚;到2035年,形成千亿级智能传感器产业集群,助力广东打造中国集成电路产业“第三极”。

越海项目为广东越海集成高端传感器8寸/12寸TSV封装项目,已于2022年9月开工,计划建设晶圆级封装生产线、3D传感器模块生产线,建成12寸TSV封装产能每月1.3万片,8寸及兼容4/6寸TSV封装产能每月2万片,填补了增城、广州乃至广东在“晶圆级先进封装”领域的空白,可服务于新能源汽车、自动驾驶、消费电子、安防监控、生物医疗、物联网、智能制造等多个领域。项目计划投资总额将超60亿元,建成后预计年产值超40亿元。

中国首条12英寸MEMS量产线封顶!经济第一大省在疯狂发展传感器!

▲越海生产基地规划图

此外,值得注意的,在本次活动中,广州增城智能传感器产业园正式亮相,这是大湾区继广州黄埔粤港澳大湾区智能传感器产业园、深圳光明智能传感与精密仪器先进制造业园区后,第三个规模建设的传感器产业园。

该产业园规划总面积约11700亩,目前已完成供地约6000亩,包括增城开发区核心区、仙村园区等2个组团,与科教城组团、翟洞组团共同构成以智能传感器制造为核心的“一核两带四组团”泛半导体产业发展格局,为东部中心现代产业体系提供重要支撑,通过广深港澳科技创新走廊向西联动黄埔,向南联动深莞,辐射粤港澳大湾区。

大湾区四座12英寸晶圆厂,广东以智能传感器&模拟芯片为突破口打造半导体第三极

12英寸晶圆是目前全球主流晶圆的最大尺寸,较8英寸晶圆相比,其面积上提升约2.23倍,就单硅片产出来看,8英寸晶圆产出芯片88块,而12英寸晶圆产出芯片则达到232块。

除增芯项目12英寸MEMS智能传感器芯片产线外,目前广东还有另外三座12英寸晶圆厂,分别是:

粤芯半导体,目前粤港澳大湾区首个并且是唯一进入量产的12 英寸芯片晶圆制造厂,主要为集成电路模拟特色工艺生产线,瞄准工业电子和汽车电子领域应用,主要生产应用于电力电子、服务器/5G基站及汽车电子的功率器件芯片、信号链芯片、电源管理芯片、微控制器芯片及图像传感器等多种产品。

华润微电子深圳12英寸集成电路生产线建设项目,于2022年10月开工,建设主体为润鹏半导体(深圳)有限公司,选址深圳市宝安区。该项目一期总投资220亿元,聚焦40纳米以上模拟特色工艺。项目建成后将形成年产48万片12英寸功率芯片的生产能力,产品主要应用于汽车电子、新能源、工业控制、消费电子等领域。

中芯国际12英寸晶圆厂,聚焦28纳米以上工艺,应用于图像传感器、显示驱动等产品。《广东省2022年重点建设项目计划表》,中芯国际将在深圳建设一条月产能为4万片/月的12英寸集成电路生产线,总投资153亿元,聚焦28纳米及以上工艺节点的生产,应用于图像传感器、显示驱动等产品。,产线建设起止年限为2021-2025。

此外,除广州增芯项目12英寸MEMS线外,今年深圳也将落地一条8英寸MEMS中试线,相关信息参看《深圳首条MEMS中试线落地!》。

从这些芯片产线的建设可以看到,广东的芯片制造主要集中在MEMS智能传感器、高端模拟芯片为主的成熟制程,以智能传感器&模拟芯片为突破口打造“中国集成电路第三极”。

中国经济第一大省是芯片弱省?广州深圳政策频出,豪掷千亿补课!成中国芯片制造的“兵家必争之地”,传感器获优先扶持!

作为我国经济第一大省,长期以来,广东省半导体产业发展滞后,远不如上海市、江苏省等兄弟省市。

据悉是由于错位发展的需要,广东大力发展光电显示产业,而上海在上世纪80年代就布局芯片产业,2000年中芯国际在上海成立,还有华虹半导体这种大晶圆制造厂,重点引入台积电的人才,经过20多年的发展,上海形成了国内整条完整的芯片产业供应链,上海的半导体发展有着历史底蕴。

当前,广东半导体产业发展极不平衡,虽然有大量的芯片设计企业,但芯片制造产线寥寥无几,据深圳市半导体行业协会会长周生明介绍:

2022年,广东半导体集成电路产业营收为2268.18亿元,同比增长21.2%。设计业一业独大,2022年广东省集成电路设计业营收为1265.12亿元,在产业链占比超过50%;制造业则弱势明显,营收仅为52.63亿元,占比仅有2%。

因此,广东省以广州、深圳为双核,出台了一系列“强芯”政策。

2022年4月,广东省工信厅印发《2022年广东省数字经济工作要点》,要全面实施“广东强芯”工程,加快湾区半导体、广大融智、智能传感器三大产业集团建设。

同年,深圳出台政策培育发展壮大“20+8”产业集群,前瞻布局8大未来产业。包括智能传感器、精密仪器、新能源、高端医疗器械等产业集群。

可以看到,在这些政策中,传感器产业获得的政策支持,均处于前列,都是作为首批获得资金扶持的产业。

为什么广东省会集中精力发展传感器产业?

芯片分为逻辑运算、存储器和传感器三大门类,我国已经在上海、北京、武汉、合肥等地建设了逻辑运算和存储器的主要产业平台,而传感器是万物互联的基础、应用广泛,亟待进一步发展。同时,我国传感器产业羸弱,中高端传感器80%需要进口,传感器芯片进口率达90%已成共识,国产传感器发展空间较大。

也即是说,我国其他地区的逻辑运算、存储器等半导体产业布局已相对完善,所以广东选择从传感器产业切入突破。

广东是我国的制造业大省,拥有广汽、美的、比亚迪、格力、TCL、华为、迈瑞医疗、大疆等等众多巨型制造企业,具有庞大传感器产品需求,在广东大力建设智能传感器产业正当其时。

早在2021年3月26日,工信部电子司联合广东省工信厅在广州市增城区召开了国家智能传感器产业发展座谈会,会议对在大湾区发展智能传感器产业形成了诸多共识。

此后,广东省对于传感器产业的政策支持力度日益加强,尤其是广州市和深圳市这两大经济核心,相继推出鼓励传感器产业发展的若干措施,将传感器提到前所未有的高度!

此后,今年2月,总规模2000亿元的母基金落地广州,投资重点为半导体与集成电路、新能源等领域。

6月份,广东又出台重磅文件《关于高质量建设制造强省的意见》,推动半导体及集成电路等产业发展,并再次重申“全面建设中国集成电路第三极”,推进“广东强芯”工程建设。

目前,广东省在建、拟建集成电路重大项目近40个,总投资超5000亿元。2022年,广东半导体集成电路产业营收为2268.18亿元,同比增长21.2%。

以智能传感器、高端模拟和半导体化合物芯片为核心,广东已成中国芯片制造“兵家必争之地”,”中国集成电路第三极”初见雏形。

结语

作为中国经济最大省份,广东具有庞大的下游市场,长期以来,中国集成电路业内流行着一句话:“全球60%的芯片销往中国,而中国60%的芯片消耗在珠三角/粤港澳大湾区。”

然而,因为产业定位、发展重点等原因,粤港澳大湾区半导体产业在芯片制造方面存在极大短板,许多芯片需要进口,在当前国际大环境之下,这意味着大湾区“卡链”“断链”风险如影随形,自主替代需求越来越强烈。

随着一揽子政策和资金的落地,广东省将以智能传感器、模拟芯片等为突破口,带动半导体产业发展,从而成为中国半导体第三极。

凭借粤港澳大湾区庞大的下游需求,以及丰富的人才、资金资源,相信这个未来并不远!

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