近日,中科院光电技术研究所超分辨光刻装备研制通过验收,成为全球首台紫外光源实现的22纳
近日,中科院光电技术研究所超分辨光刻装备研制通过验收,成为全球首台紫外光源实现的22纳米分辨率的光刻机。自己比什么都强!
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