很多朋友问我,为什么中国研究光刻机已经20多年了,为什么还是进步缓慢,首先,我们其实已经攻克EUV极紫外光刻机的技术难题。但是最大的问题就是,我们制造光刻机和荷兰不一样,阿斯麦可以获取到全球最顶级的零件来制造光刻机。一台EUV光刻机几乎囊括了人类在光学、力学、精密仪器、机械、自动化、高分子化学、图像识别领域最顶尖的技术,比如镜头,全世界只有德国的光学镜头巨头蔡司可以制造,这背后是蔡司超过170年的技术积累,这些除了花时间攻克以外,花钱是买不来的。除了可以获取到德国的光学设备和超精密机械,阿斯麦还可以获取到美国的计量设备和光源设备等等。而且阿斯麦的技术研发不仅仅是靠自己,比如第四代浸没式光刻机,就是中国台湾林本坚提出的技术方案,而EUV技术的攻克,则是由英特尔和美国能源部牵头,集合了当时还如日中天的摩托罗拉以及 AMD,还有美国三大国家实验室,集合几百位顶级科学家成立了 EUV LLC组织,从而解决了EUV的技术难题。而中国制造光刻机,不仅要自己生产制造光源、光学投影物镜、激光矫正器、掩模版、曝光台等核心部件,就连一颗螺丝钉只需要自研。阿斯麦公司总裁曾经说过一句话,就算给中国工程师高端光刻机图纸,中国也造不出高端光刻机。阿斯麦为什么敢说这句话,原因就在于此。要仅依靠1个国家,来完成光刻机百分百的纯国产制造,这就是我们当前面临的难度。事实上,不仅是光刻机,任何高精尖设备,中国和西方发达国家的难度都是不一样的,比如说美国F35战机,可以叫全世界供应零件,甚至包括中国厂商,但是中国歼20就必须要达到100%国产。所以中国从来不是和一个企业在PK,我们是在和一个发达国家联盟在角力。但是中国是不可能放弃的,一代又一代的引进新的生产能力是赶不上世界先进水平的,只有将技术掌握在自己手里,我们才不会害怕被别人卡脖子。