Êг¡µ÷Ñлú¹¹SEMIµÄÊý¾ÝÏÔʾ£¬µ½2022Ä꣬ÖйúÒÑÁ¬ÐøÈýÄêÎȾÓÈ«Çò×î´ó°ëµ¼ÌåÉ豸Êг¡¡£ÖйúÉ豸ÖÆÔìÉÌÒÔÄÚÐèÊг¡µÄÇ¿¾¢ÐèÇóºÍÕþ¸®µÄÖ§³ÖΪ»ù´¡£¬¼«ÓпÉÄÜ»ñµÃÔö³¤ÒýÇæ¡£
¾ÝÅí²©É籨µÀ£¬Öйú»¹Í¨¹ýASMLÇ°ÈÎÔ±¹¤¼Ó¿ìÁË»ñÈ¡°ëµ¼ÌåÉ豸Ïà¹ØºËÐļ¼ÊõµÄËٶȡ£
¿¼Âǵ½´ËÇ°Öйú°ëµ¼ÌåÆóҵƸÇę̈»ýµçºÍÈýÐǵç×ӵȸ߹ܼӿ켼Êõ·¢Õ¹µÄ³É¹û£¬ÕâÑùµÄÇé¿öÔÚ°ëµ¼ÌåÉ豸ÁìÓòÒ²ÍêÈ«¿ÉÒÔÖØÏÖ¡£
ÖйúΪӦ¶ÔÃÀ¹úÏÞÖƹ涨¶ø¹¹½¨°ëµ¼ÌåÉ豸×Ô¸ø×Ô×ãÌåÖÆ£¬´ÓÖг¤ÆÚÀ´¿´£¬ÓпÉÄܶǪ̂»ýµç¡¢ÈýÐǵç×Ó¡¢SKº£Á¦Ê¿µÈÈ«Çò°ëµ¼ÌåÆóÒµ²úÉú²»ÀûÓ°Ïì¡£
ÕâÊÇÒòΪ£¬Èç¹ûÖйú×ÔÖ÷ÕÆÎÕÀàËÆEUVµÄ¼¼Êõ£¬ÄÇôÔÚ¼â¶Ëϵͳ°ëµ¼ÌåºÍDRAMµÈÁìÓò£¬¿ÉÒÔÆÚ´ýͨ¹ý±¾¹úÆóÒµ´úÌ溣Í⾺Õù¹«Ë¾µÄÊýÁ¿·½ÃæÈ¡µÃ³ä·ÖµÄ³É¹û¡£
×îÖÕ£¬ÃÀ¹ú¶ÔÖйú°ëµ¼ÌåµÄÏÞÖÆ´øÀ´µÄ¡°Äæ·ç¡±£¬Ï൱ÓÚ¶Ôº«¹ú°ëµ¼Ìå²úÒµÒ²»á²úÉúÓ°ÏìµÄ±äÊý¡£
µ«Åí²©É籨µÀ³Æ£º¡°Ò²ÓÐר¼ÒÈÏΪ£¬Öйú²»¿ÉÄÜÔÚ¶Ìʱ¼äÄڸϳ¬ASML£¬ASMLÁìÏȵÄÕ½ÂÔÊÇÓ뾺Õù¶ÔÊÖ½øÒ»²½À­´ó¼¼Êõ²î¾à¡£¡±