军事：中国制造再次打破国外垄断 电子级多晶硅年产2500吨(3)

　　多晶硅厂全貌

　　“黄河水电多晶硅”采用改良西门子法，年产达2500吨电子级多晶硅，实现完全闭路循环，节能低耗、安全环保，其氧含量<0.02ppma，碳含量<0.02ppma，受主杂质<0.03ppba，施主杂质<0.05ppba，基体总金属杂质<2ppbw，经第三方权威检测机构检测，产品质量与德国、日本知名多晶硅质量相当。

　　“攻克电子级多晶硅的关键要素包括很多方面，对工艺、设备管道选型、仪表选型、洁净室等级都有严格的要求，在施工及检修时，需要按照最高洁净等级规范，在原辅材料、中间产品、辅助气体和介质方面也要进行完善的质量体系控制。”刘刚补充，“每一个细小环节都需要长期的实验积累有效的数据，从中找出制约质量提升的因素。”

　　来自重庆的某下游企业负责人告诉记者：“设备可以阶段性引入，但材料必须是连续性的，我们曾遇到过某外国厂商的突然断供，造成了很大损失。如果关键材料可以实现国产化，我们可以减少很多后顾之忧。”

　　步入新阶段

　　电子级多晶硅国产化，率先在青海取得突破，一部分源于地缘优势。