7月19日下午，广东省工业和信息化厅召开2023年上半年新闻发布会，会上通报了上半年全省工业经济运行情况，其中重点提及：
“集成电路产量逆势增长，随着多个集成电路重大制造项目的建成达产，全省集成电路产量同比增长80%，增速高于全国（0.1%）79.9个百分点，占全国产量28.1%。”
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作为中国经济总量最大的省份，近年来广东省竭力发展半导体产业，推出一系列政策，并不惜壕掷千亿补课，近期再发重磅文件，重申“全面建设中国集成电路第三极”。
传感器作为半导体产业重要的器件，在广东省半导体产业政策中获得优先扶持，在全省集成电路产量增长80%的背后，更有包括中国首条12英寸MEMS晶圆产线在内的4条12英寸线正在动工建设，近期这些产线相继发布最新信息。
中国经济第一省半导体产业正在狂飙！
狂增80%背后，传感器等多条12英寸产线建设被写入工作报告！
近日，广东省工业和信息化厅官网发布《省工业和信息化厅召开2023年二季度新闻发布会》新闻稿，其中指出广东省2023上半年集成电路产量同比增长80%，增速高于全国（0.1%）79.9个百分点，占全国产量28.1%。
该数据显示了，在广东省强劲的政策支持和投资下，当前广东省半导体及集成电路产业正爆发出前所未有的增长态势。在广东省半导体及集成电路产业逆势狂增的背后，是粤芯等多条12英寸产线投入建设、量产，弥补广东省半导体产业的短板。
今年1月份，广东省第十四届人民代表大会第一次会议上，政府工作报告中，传感器等半导体重大项目更是被写入报告里：
政府工作报告回顾了2022年的工作，其中：粤芯三期、华润微电子、增芯科技传感器等集成电路重大制造项目获批建设，“广东强芯”工程深入推进，打造中国集成电路第三极迈出坚实步伐。新增国家级制造业单项冠军企业47家、国家专精特新“小巨人”企业447家，推动1万家企业“小升规”、超过9000家工业企业开展技改，工业投资增长12%。
政府工作报告还明确了2023年工作安排，其中：……提升产业链供应链韧性和安全水平。以“链长+链主制”为抓手，制定保障产业链供应链安全稳定“1+N”政策措施。积极承接国家产业基础再造工程，推动基础零部件和元器件、基础材料、工业基础软件、基础制造工艺及装备、产业技术基础能力提升。加快补齐集成电路、工业母机等产业链关键环节，实施龙头企业保链稳链工程、汽车零部件产业强链工程，加快粤芯三期、增芯科技传感器、华润微电子、江门中创新航等项目建设。
▲来源：广东省工业和信息化厅官网
粤芯三期、增芯科技传感器、华润微电子等多条12英寸量产线加快建设！广东省芯片产能全面提速！
长期以来，广东省半导体产业发展滞后，远不如上海市、江苏省等兄弟省市，不论是产业规模还是产业链完整程度上，粤港澳大湾区都远落后于长三角地区，并且大湾区半导体及集成电路产业布局极其不平衡，有大量的芯片设计企业，但芯片制造和设备、材料方面等存在明显短板。
以半导体的传感器产业为例，此前粤港澳大湾区传感器芯片产线缺乏，只有奥松电子等几条MEMS传感器芯片产线，许多企业流片、生产需要到长三角甚至国外寻找代工公司合作。
随着广东省发力半导体产业，粤芯半导体打响了大湾区追赶的第一枪，成为广东省及粤港澳大湾区目前唯一进入量产的12英寸芯片生产线。
此外，多条12英寸晶圆产线正在广东省加快建设，譬如2023年政府工作报告中提及的粤芯三期、增芯科技传感器、华润微电子等重大项目，均属于12英寸产线，广东省半导体产业失衡的局面有望在未来几年被打破。
12英寸晶圆是目前全球主流晶圆的最大尺寸，较8英寸晶圆相比，其面积上提升约2.23倍，就单硅片产出来看，8英寸晶圆产出芯片88块，而12英寸晶圆产出芯片则达到232块。
粤芯半导体三期动工建设，应用于图像传感器、微控制器芯片等多种产品
粤芯半导体成立于2017年，先后于2019年及2021年相继实现一期、二期项目正式量产，从消费级芯片起步，进而延伸发展至工业级和车规级芯片，是目前粤港澳大湾区首个并且是唯一进入量产的12 英寸芯片晶圆制造厂。
据悉，粤芯半导体项目计划分为四期进行，计划总投资约370亿元，目前第一期、第二期已经投产，月产能达到4万片，第三期、第四期项目计划月产能各4万片，预计在2025年，公司月产能有望达到12万片。此外， 一期主要技术节点为180-90nm制程，二期技术节点延伸至90-55nm制程，三期技术节点进一步延伸至55-40nm，22nm制程。
2022年6月，粤芯半导体完成了45亿元融资，8月，粤芯半导体三期项目正式启动建设，总投资162.5亿元，将新建产能4万片/月的12英寸集成电路模拟特色工艺生产线，力争在2024年建成投产。
按照规划，三期项目规划打造工业级和车规级模拟特色工艺平台，主要应用于电力电子、服务器/5G基站及汽车电子的功率器件芯片、信号链芯片、电源管理芯片、微控制器芯片及图像传感器等多种产品。
▲来源：《广州市2023年重点建设项目计划》
增芯科技提速，中国首条在建的12英寸MEMS晶圆产线！锁定全球最大MEMS产线宝座？
增芯科技传感器项目被写入2023年广东省政府工作报告中，这是中国首条在建的12英寸MEMS晶圆量产线。
2022年12月，增芯科技一期第一阶段项目动工建设，批复投资70亿元人民币，将建设月加工2万片12英寸的晶圆制造量产线。项目于2022年12月开工，计划2024上半年通线，2025年年底满产。
此前，据《广州市2022年重点建设项目计划》显示，广州增芯项目总投资将达到370亿元！打造集研发、量产制造、封测与应用为一体的MEMS制造平台。一期第一阶段达产后产能2万片/月；一期第二阶段达产后产能扩至6万片/月。
▲来源：《广州市2022年重点建设项目计划》
据广州增芯科技有限公司官方平台介绍，其致力于建设国内第一家专业定制化 12英寸智能传感器芯片制造企业，产品主要以力学、声学、微流控、生物等传感器件及配套 ASIC 芯片为主，着力面向粤港澳大湾区这一全球传感器最大的应用市场，快速构建传感器产业生态圈，助力大湾区成为全球传感器产业中心的核心支撑和引领平台。
目前增芯科技已与10家MEMS设计骨干企业签订合作协议，共同定制工艺设备、开发特色工艺技术，包括但不限于加速度传感器、惯性传感器、磁传感器、基因测试芯片、微流控芯片、硅基麦克风芯片等。
此外，增芯科技12英寸MEMS晶圆产线一期月产2万片年产24万片，后期年产36万片的产能规划，如果投产顺利，将极大可能锁定中国乃至全球最大的MEMS晶圆代工厂的位置。
当前全球最大的MEMS晶圆代工厂——赛微电子旗下瑞典Silex产线（FAB1&FAB2），年产能约84000片，赛微电子北京产线（FAB3）目前规划产能30000片/年，中芯集成（绍兴）的MEMS晶圆代工年销量约85000片左右。
▲赛微电子MEMS产能数据（来自赛微电子2021年报）
据2023年07月21日，广州市规划和自然资源局的《12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线新建项目》公示资料显示，该产线具体位置处于广州城之东，从地图上粗略查看，距离广州市区37公里，距离东莞市区21公里，距离深圳市区83公里，而距离深圳市打造的智能传感器高地——光明区仅57公里，只相当于从深圳宝安区到坪山区的距离。
增芯科技传感器项目对粤港澳大湾区及中国传感器产业有重要意义。
▲增芯科技传感器项目位置，来源：广州市规划和自然资源局
华润微电子12英寸晶圆厂投入建设，聚焦40nm以上模拟特色工艺
华润微电子深圳12英寸集成电路生产线建设项目于2022年10月开工，建设主体为润鹏半导体（深圳）有限公司，选址深圳市宝安区。
据当时公开消息显示，该项目一期总投资220亿元，聚焦40纳米以上模拟特色工艺。项目建成后将形成年产48万片12英寸功率芯片的生产能力，产品主要应用于汽车电子、新能源、工业控制、消费电子等领域。该项目的建成将发挥华润微全产业链商业模式优势，贴近和带动产业上下游的配合和衔接，形成集聚效应，助力粤港澳大湾区制造业的发展。
华润微2月8日公告，公司召开了第二届董事会第六次会议审议并通过了《关于变更部分募投项目并将部分募集资金投入新项目的议案》，同意公司将向特定对象发行A股股票募集资金投资项目“华润微功率半导体封测基地项目”的募集资金人民币23亿元变更使用用途，变更后的募集资金将用于“华润微电子深圳300mm集成电路生产线项目”。
华润微电子深圳12英寸晶圆厂建设提速，该项目预计2024年年底实现通线投产。
中芯国际12英寸晶圆厂，聚焦28纳米以上工艺，应用于图像传感器、显示驱动等产品
据广东省发展改革委公布的《广东省2022年重点建设项目计划表》，中芯国际将在深圳建设一条月产能为4万片/月的12英寸集成电路生产线，总投资153亿元，聚焦28纳米及以上工艺节点的生产，产线建设起止年限为2021-2025。其中，2022年计划投资30亿人民币，投资建设内容包括土建和设备安装。
另外根据深圳市坪山区投资推广服务署去年发布的公告，中芯国际12英寸晶圆代工生产线主要规划进行55nm高压大屏驱动，0.15μm电源驱动以及40/28nm高压大屏驱动芯片的量产生产，以显示驱动、图像传感以及电源管理产品为切入口，预留其他类型产品兼容性。
据中芯国际在2022年第四季度业绩财报中披露，至2022年底，中芯深圳已进入投产阶段。在前不久的政府工作报告中提到，2023年将推动中芯国际12英寸生产线达产满产。
多项重磅政策落地，豪掷千亿补课！广东力争中国半导体第三极！传感器产业获得优先扶持！
在刚刚过去的6月份，广东省又出台重磅文件，6月1日发布《关于高质量建设制造强省的意见》，文件中提到，推动半导体及集成电路等产业发展，培育形成10个以上产值超万亿元的战略性产业集群，超过10家制造业企业进入世界500强。并且，再次重申“全面建设中国集成电路第三极”，推进“广东强芯”工程建设：
突破重点产业链的一批关键核心技术、前沿技术和颠覆性技术。持续推进“广东强芯”工程，抓紧组建省半导体及集成电路产业投资基金二期，全面建设中国集成电路第三极。建立健全能源和原材料保供稳价长效机制，提升战略性能源资源供应保障能力。
长期以来，广东省半导体产业发展滞后，远不如上海市、江苏省等兄弟省市。
据悉是由于错位发展的需要，广东大力发展光电显示产业，而上海在上世纪80年代就布局芯片产业，2000年中芯国际在上海成立，还有华虹半导体这种大晶圆制造厂，重点引入台积电的人才，经过20多年的发展，上海形成了国内整条完整的芯片产业供应链，上海的半导体发展有着历史底蕴。
为了补半导体的课，2022年广东省豪掷千亿，以广州、深圳两大一线城市为双核，推出一系列政策。
2022年4月，广东省工信厅印发《2022年广东省数字经济工作要点》，要全面实施“广东强芯”工程，加快湾区半导体、广大融智、智能传感器三大产业集团建设。
一、成立广东省半导体及集成电路产业投资基金（总规模500亿，首期200亿）：设立子基金、生态子基金和风险子基金；二、粤芯CanSemi12英寸模拟特色工艺线三期四期投资400亿元；三、粤港澳大湾区科技创新产业投资基金，总规模1000亿，首期200亿元；四、湾区半导体产业集团，首期160亿元，目标300亿元；五、广大融智产业集团，一期100亿元；六、智能传感器产业集团，100亿。
同年，深圳出台《关于发展壮大战略性新兴产业集群和培育发展未来产业的意见》，培育发展壮大“20+8”产业集群，即发展以先进制造业为主体的20个战略性新兴产业集群，前瞻布局8大未来产业。包括智能传感器、智能传感器、精密仪器、新能源、高端医疗器械等产业集群。
为壮大相关产业，深圳以“一个产业集群至少有一只基金配套支持”的理念，成立相关基金，基金群总规模达千亿级。
其中，智能传感器、合成生物、新能源汽车、生物医药产业共四个重点方向为首批先行产业，基金已在2022年12月落地，规模达165亿元，而智能传感器产业基金为50亿。
2022年3月，深圳市工业和信息化局发布关于公开征求《深圳市关于推动智能传感器产业加快发展的若干措施》（征求意见稿）意见的通告，相关政策于同年12月出台。
深圳将从健全产业公共服务能力、构建核心技术竞争力和强化市场牵引发展能力三方面，加快发展智能传感器产业集群，促进产业迈向全球价值链高端。政策显示，对企业能够解决智能传感器产业“卡脖子”问题的，资金资助最高达到了1亿元！（相关政策内容参看《最高资助1亿！深圳要解决智能传感器产业“卡脖子”问题（附政策全文）》）
深圳对智能传感器产业空间布局，重点提及了南山、龙华和光明这三区。具体来看，深圳对于南山区的定位重点放在了“产学研”；龙华的定位是“3C应用示范”；而光明任务最重，肩负8英寸MEMS中试线，项目总投资额15.33亿元，建成后产能可达3000片。该中试线建成后将面向市内外有关企业提供研发中试和批量代工服务。
2023年1月，深圳市光明区智能传感与精密仪器先进制造业园区开工建设，项目位于光明区西南直角产业带，综合开发范围1.95平方公里，规划容积382.51万平方米，分四期开发，项目总投资达81.9亿元。
这是继粤港澳大湾区智能传感器产业园后，广东省第二个成规模的传感器产业园区，也使光明区成为深圳市的智能传感器产业高地。
结语
因国家发展统筹等原因，长期以来，广东半导体产业远远落后于长三角的上海、江苏等兄弟省市。
近年来，随着广东半导体产业受到重视，吹响了打造中国半导体第三极的号角，2023年上半年广东省集成电路同比增长80%，当前广东半导体在建拟建项目总投资超5000亿元，已迈出了坚实的步伐。
智能传感器作为半导体产业的重要组成部分，自2020年以来，广东密集推出扶持智能传感器产业发展的各项政策措施，其力度之大、政策范围之广，远超其他兄弟省份城市。
未来，以智能传感器、模拟芯片等为突破口带动半导体产业发展，广东省有望真正成为中国半导体第三极！
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