据环球时报9月1号发布的消息称,荷兰光刻机巨头阿斯麦在当天上午对外发表一份声明,称该公司向荷兰政府提交了有关对华出口浸没式光刻系统的出口许可证申请。荷兰政府已经颁发了截至今年9月1号所需要的许可证,允许阿斯麦公司今年继续对华出口相关的光刻系统。不过声明中也明确指出,中国客户已经知悉出口管制条例所带来的限制,也就是从2024年1月1号开始,阿斯麦公司基本不会获得向中国客户出口这些设备的许可证。
阿斯麦公司发布的这则声明传递出两个信号,首先是明确了荷兰政府将严格执行出口管制条例,从明年开始,中国只能从阿斯麦公司手中购买完全用于制造成熟制程的DUV光刻机。这说明荷兰政府即便在与中国进行多次沟通和磋商之后,仍然决定站在美国一边,配合华盛顿执行对中国半导体产业的“绞杀”。
阿斯麦CEO温彼得
其次,正是因为要严格执行出口管制条例,今年中国还有机会继续从阿斯麦公司手中继续采购浸润式光刻机,这为我们向高端工艺进军预留了窗口。其实声明中所提到的浸没式光刻系统,指的是采用193纳米光源,但是会在硅晶圆上附加一层水作为介质的光刻系统。该系统的原理是光源在经过水的折射之后可以产生出等效于134纳米的光源,让光刻精度变得更高。同之前的光刻机相比,浸润式光刻机不仅可以用于制造45纳米-14纳米工艺的芯片,甚至可以通过多次曝光来制造先进制程的芯片。
正是基于这样的技术特性,美国在利用制造设备源头对我国半导体进行精准打击时,专门将浸没式光刻系统纳入出口管制的重点对象,就是为了切断一切能够让中国触碰到先进制程芯片的渠道。但颇具戏剧性的是,作为拜登内阁中发起对华制裁次数最多、范围最广的鹰派成员,美国商务部长雷蒙多在刚刚结束的访华之行中,全程未提对华芯片制裁。
高端光刻机仍然是中国需要集中攻关的难题
而她能够为拜登带回去的“礼物”,也不过是让中美商务部重建事务性常态联络机制,至于拜登最期盼的实质性成果则是一片空白。而能够让雷蒙多哑口无言,让荷兰政府临时变卦的主要原因,极有可能和我国半导体近期接连爆出的喜讯有关。8月26号,安徽格恩半导体有限公司宣布,该公司的国产氮化镓激光芯片,已经在六安成功实现了量产。虽然该芯片从实验室走到流水线仅花了180天的时间,但我国已经在这一领域的研究已经超过了30年,是真正意义上的厚积薄发。
不仅如此,就在雷蒙多离境返程的当天,中国移动正式官宣了我国第一款“可重构5G射频收发芯片”,实现了我国在该领域从0到1的历史性突破,极大提升了我国5G网络核心设备的自主可控度,而此时距离中国移动牵头成立芯片研发企业联合实验室仅仅过去2年。
国产芯片的自主化之路任重道远
诚然,我们的国产半导体仍然面临着非常严苛的外部封锁,国产光刻机还没有“轻舟已过万重山”,但中国已经用实际行动证明,在所有人都共享同一个物理规则时,“中国技术”不比任何人差,“封杀中国半导体”注定是美西方的黄粱一梦。
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