怎么可能！中国企业的未雨绸缪这么猛？日本专家：出口管制下，中国从 ASML购买了巨量 ArF 浸没式光刻设备，而且，神秘的货运仍在继续！为何？
美国对中国的出口管制与日本和荷兰之间的合作
2022 年 10 月 7 日，美国宣布了暂停向中国先进半导体制造商出口半导体生产设备的规定。
随后，日本和荷兰也决定与美国保持一致，荷兰在 2023 年 9 月 1 日之后不再出口氩氦沉浸光刻设备。但是，直到 2024 年第二季度（Q2），荷兰的 ASML 仍在向中国大量运送 ArF 浸入式设备。问题出在哪？
中国抢购 ArF 沉浸式设备
首先，从 ASML 各曝光系统的出货量来看，如图 1 所示，ArF 沉浸式设备在 2023 年第二季度的出货量为 2.8 亿欧元，同年第三季度为 2.6 亿欧元，超过了最先进的曝光系统 EUV。
此时，ASML 按地区划分的出货量（如图 2 所示）在同年第三季度达到创纪录的 2.4 亿欧元，其中中国的出货量达到 2.4 亿欧元。
据推测，中国在 2023 年 9 月 1 日之前订购了大量 ArF 浸膏，规避了 ASML 出口限制。
因此，在 2023 年第二季度至第三季度期间，ASML 的ArF设备出货量急剧增加。
随后，直到 2024 年第一季度，ArF设备和对中国的出货量都有所下降。当时，作者预计同年第二季度ArF设备和中国出货量将进一步下降。然而，这一预测完全错误。
2024 年第二季度，ArF设备对华出货量均创历史新高
2024 年第一季度至第二季度，这款设备对华出货量均大幅增长，均创历史新高。这意味着，中国很可能在 2024 年第二季度继续大量引进 ArF 浸入设备。
那么，为什么会出现这种情况呢？ ASML 不是已决定在 2023 年 9 月 1 日之后不再向中国出货这款设备吗？ 对此，笔者的推理如下。
中国的半导体制造商，例如代工厂中芯国际，可能在 2023 年 9 月 1 日之前向 ASML 订购了大量的这款设备，完全无视经济原则。因此，ASML 得尽最大努力为中国生产 ArF 沉浸设备。同时，中国订购的 ArF 浸入式设备数量巨大，远远超出了 ASML 的生产能力，因此无法在 2023 年 9 月 1 日之前生产，结果成 了"订单积压"。
因此，ASML 很可能在 2023 年 9 月 1 日之后继续生产并向中国运送 "积压 "的 ArF 浸入式设备。这样，在 2024 年第二季度，运往中国的 ArF 浸入式设备的价值就会创下新高。
那么，中国尤其是中芯国际购买了多少台 ArF 浸入式设备呢？
2022年以后中国购买了Arf沉浸设备的情况
图 3 显示了 2020 年第四季度至 2022 年第三季度 ASML 各种曝光系统的季度出货量趋势，显示 ArF 沉浸设备的出货量一般为每季度 20 台。从 2022 年第四季度开始，出货量将大大超过 20 台。
假设所有超过 20 台的 ArF 浸入式系统都由中国引进。那么，中国引进的数量在 2022 年第四季度为 2 台，2023 年第一季度为 5 台，第二季度为 19 台，第三季度为 12 台，第四季度为 9 台，2012 年第一季度为 0 台，第二季度为 12 台，总计 59 辆。
而且，从 2022 年第四季度到 2024 年第二季度，中国购买的 ArF 浸入式装置可能超过 59 台。在今年的 2024 年第三季度之后，ArF 浸入式设备仍有可能运往中国。如此一来，中国的 ArF 浸入式设备 "积压 "订单可能到今天还没有解决。
也许中国已经订购了 100 多台 ArF 浸入式设备。如此一来，中国可能实际囤积式地购买了未来五年左右的 ArF 浸入式设备。
由于中国巨量购买的囤积，世界各地出现ArF 沉浸设备的不足
中国疯狂购买ArF沉浸器很可能导致全球ArF沉浸器短缺，而ArF沉浸器对于45纳米、32纳米和28纳米等成熟节点以及16/14纳米、10纳米、7纳米、5纳米、3纳米等先进节点的半导体生产至关重要。
如图 2 所示，向中国大陆的出货量出现了惊人的增长，而台湾地区的出货量却在迅速下降。这可能是由于2023年疫情特殊需求的结束以及半导体经济衰退，可能导致台积电和其他公司减少资本投资。
然而，图 2 中显示的对台出货量下滑却不同寻常。这可能是由于中国大陆向 ASML 订购了大量 ArF 设备，使得台湾地区尤其是台积电无法引进 ArF 沉积设备。仔细观察图 2 可以发现，美国和欧洲也面临着 ArF 浸入式设备短缺的问题。
然而，如果中国继续购买这款设备，那么全球半导体工厂无法运营也就不足为奇了。
未来，ASML 将继续向中国运送多少 ArF 浸入式设备？ 值得关注。
JBpress8月21日 微细加工研究所所长汤之上隆
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