【文/观察者网 吕栋】

在跟美国政府达成协议1个多月后,当地时间3月8日,荷兰政府以“国家安全”为由,宣布将对包括“最先进”的深紫外光刻机(DUV)在内的特定半导体制造设备实施新的出口管制。

这意味着,荷兰方面已将光刻机出口管制的范围,由最先进的极紫外光刻机(EUV)扩大到了DUV。

由于DUV仍占很大出货比重,荷兰光刻机巨头ASML很快发布声明,称该公司需要申请许可证,才能出口最先进的浸没式DUV光刻机,但新的出口管制,并不适用于所有的浸没式DUV,而只是针对“最先进的”。

ASML官网截图

根据路透社等外媒的报道,当地时间3月8日晚间,荷兰外贸与发展合作大臣施赖纳马赫尔(Liesje Schreinemacher)在致荷兰议员的一封信中称,“鉴于技术发展和地缘政治背景,政府得出结论,为了(国际)国家安全,有必要扩大对特定半导体制造设备的现有出口管制。”

施赖纳马赫尔宣称,荷兰政府希望阻止荷兰技术被用于军事系统或大规模杀伤性武器(这与美国去年10月实施出口管制的理由类似),同时希望保持“荷兰的技术领先地位”,为此将建立国家出口管制清单。

这封信并未提及任何国家和公司,但美国政治新闻网站《政客》(Politico)认为,荷兰此举是迫于美国的压力。就在本月初中荷外长会面时,荷兰外交大臣胡克斯特拉还表示,荷兰将继续根据本国利益在具体项目上独立作出判断。

实施新出口管制,显然会对荷兰半导体设备企业造成影响,尤其是光刻机巨头ASML。施赖纳马赫尔在前述信中透露,新的出口管制措施包括最先进的DUV,这些措施将在今年夏天之前实施。

观察者网查询ASML财报发现,2022年,EUV光刻机仅占该公司出货量的10%,DUV仍是出货主力。

ASML财报截图

考虑到DUV仍然有庞大的出货量,ASML也迅速对新的出口管制做出回应。该公司在一份声明中称,这些新出口管制主要针对先进的芯片制造技术,包括最先进的沉积和浸没式光刻工具。

由于这些即将出台的法规,ASML将需要申请出口许可证才能装运最先进的浸没式DUV系统。