为什么阿斯麦对我们禁售EUV光刻机,但对DUV光刻机却允许呢?
有人说,因为EUV更先进,能制造5nm以下制程的芯片。
这仅仅是一方面,更主要的是DUV光刻机的核心技术,是来自台积电的林本坚提出ArF浸没式方案,美国在DUV领域不具备统治地位。
因此,阿斯麦向中国出货DUV光刻机无需得到美国授权。
而EUV光刻机就不一样了,EUV自出生就被美国从资本和技术层面全面掌控,与DUV有本质的不同。
EUV技术起源于英特尔和美国政府牵头成立EUV LLC联盟。
该联盟汇聚了美国顶尖的研究资源和芯片巨头,包括劳伦斯利弗莫尔实验室、劳伦斯伯克利实验室、桑迪亚国家实验室三大国家实验室,联合IBM、AMD、摩托罗拉等科技巨头,集中数百位顶尖科学家,共同研究EUV光刻技术。
阿斯麦在做出美国建立工厂和研发基地等多项让步后,才成功加入EUV联盟。后来,美国用出资入股和技术渗透的形式,牢牢把控ASML的后续EUV技术。
也就是说,阿斯麦的EUV技术是受控于美国。

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