中国能造出EUV光刻机吗？
有人说：一台最高端的EUV光刻机价格大概是1亿多美元，里面大概有十万多零部件，超过全球5000家供应商，以及通过全世界的技术集成做起来。
比如在整个光刻机里面荷兰腔体和英国真空占了 32%，美国光源占了27%，德国光学系统占了14%，日本的材料占了27%。
这样一个EUV装备，是一个全球化的结晶，如果让一个国家或者一个地区做一个光刻机是不现实的。
但是这种说法真的是绝对的？
EUV光刻机的核心组件有双工作台、光源系统、曝光系统、浸没系统、物镜系统、光栅系统等，最难的是光源、晶圆曝光台、对准系统和镜头。
目前来说，中国正通过国家02重大科技专项的“极紫外线光刻关键技术研究”项目，联合多单位研发EUV光刻机。
比如长春光机负责“极紫外光刻关键技术研究”；
上海微电子负责光刻机的设计和总体集成；
科益虹源提供光源系统；
北京国望光学提供物镜系统；
国科精密提供曝光光学系统；
华卓京科提供双工作台；
浙江启尔机电提供浸没式系统。
有消息说，国产EUV光刻机预计在2025年研发完成。
当然，这消息是真是假，还有待考察，但是这时候举国体制的优势就体现得淋漓尽致了，毕竟光刻机是人造的，而不是神造的。
既然是人造的，那么突破是迟早的事情。
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