继新能源汽车换道超车之后,我们的光刻机也要换道超车了?
近期,清华绕过荷兰阿斯麦的技术路线,创新出了一种新型EUV光刻机的光源方案,叫做SSMB-EUV光源方案。这个方案,有望让我们中国换道超车,制造出自己的EUV光刻机。是的,你没听错,我们直接可以上马EUV光刻机的制造了,而不必等到DUV光刻机的技术,赶上西方后,才着手。
于清华SSMB-EUV光源方案和荷兰阿斯麦的区别,详细讲起来比较费解,你可以简单理解为:荷兰阿斯麦的EUV光源是一把高精度的枪,扣动扳机,可以打到1000米外的一只蚂蚁;而清华SSMB-EUV光源,则是把枪的枪管直接设计为1000米长,枪口顶到了蚂蚁的脑袋,这个枪,不需要那么高精度,就可以打到蚂蚁。
也就是说,荷兰阿斯麦的EUV光刻机,由于需要出口到全球各地,所以在尺寸上要尽量小,方便运输和拆卸;在这种情况下,光刻机的精度就要尽可能的高。犹如一把高精度的短枪,方便随带随走,但也可以一枪命中1000米外的蚂蚁。
而使用清华SSMB-EUV光源方案的光刻机,则不考虑出口的事情,可以在尺寸上尽可能的大,对精度的要求也没那么高,更容易建成。虽然说,使用清华SSMB-EUV光源方案的光刻机,可能占地面积大、耗费电力和成本都比较高,但总算解决了从无到有的问题,意义重大。
解决了EUV光刻机这个国产芯片产业链中最短的短板,我们就再也不怕美国联合西方限制我们了,不但7-28纳米它限制不了,就连3-5纳米,我们也有可能造出来了。
与此同时,采取另一个创新方案的国产EUV工程样机,在长春光机所,也已经造出来了。
中国正在多个方向,突破最尖端的光刻机-EUV光刻机,美国所谓的半导体封锁,可能在未来3-5年,就名存实亡了。正如荷兰阿斯麦CEO所说:孤立中国没有希望,因为14亿人很聪明,他们会想出我们想不出的办法。没想到这位荷兰CEO一语成谶,他感慨没多久,我们绕过西方技术路线的清华SSMB-EUV光源方案就出来了。
化用钱学森先生的一句话:光刻机是不是人搞出来的?外国人能搞的,难道中国人不能搞? 中国人比他们矮一截?

继新能源汽车换道超车之后,我们的光刻机也要换道超车了?

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