EUV光刻技术使用较短波长的光，使芯片制造商能够将成倍增加的晶体管塞入集成电路，以制造强大的芯片。巨大的EUV机器，在客户现场完全组装好后，大约有一辆校车那么大，需要三到四架波音747飞机来运送。它重达180公吨，由超过10万个零件、3000根电缆和4万个螺丝组成，并需要2公里多的软管。

作为世界上唯一的此类机器制造商，ASML已将其竞争对手甩在身后，并表明潜在的中国竞争者的出现将是多么困难。

行业通讯Fabricated Knowledge的分析师Douglas O'Laughlin说，"根本不可能"有人在短期内追上ASML。"有可能出现某种我们现在还不知道的拐点。但是，所有知道如何做的人可能都在为ASML工作。"

获得ASML最先进的机器已经决定了哪些公司在该行业取得成功。英特尔在采用EUV机器方面进展缓慢，在保持了近30年的世界最大芯片制造商地位后，去年跌落了它的位置。根据分析师的预测，台积电更快地利用了新技术，并且是ASML的最大客户，今年有望获得这一头衔，超过三星，将美国公司降至第三位。

截至2022年底，ASML已交付180套EUV系统。它计划今年交付60套EUV系统，并希望提高制造能力，以便到2026年将其生产的老式DUV系统的数量增加一倍，达到600套。它还想在2030年前建造多达30台被称为高NA EUV的下一个机器，这些机器计划在大约两年内用于大批量的芯片制造。

行业研究和咨询公司Semi Analysis的首席分析师兼创始人Dylan Patel说，半导体制造商热衷于购买这种最新的机器，因为许多新兴技术需要比目前的芯片更强大的芯片。他说，像苹果公司具有高密度和长寿命电池的增强现实头盔或有朝一日可以运行人工智能工具ChatGPT-7的服务器等功能，"在目前的技术下是不可能实现的"。"高NA EUV很可能是解锁的东西。"

也就是说，不是每个人都相信向这些日益复杂的机器的过渡会很顺利。伦敦Redburn公司的Timm Schulze-Melander说，尽管他对ASML有"尊敬和钦佩"，但芯片制造商可能遇到的困难在该公司股价的大幅上涨中并不明显，他是彭博社追踪的唯一一位对ASML股票持"卖出"评级的分析师。