他说:"高NA EUV有很大的技术以及经济挑战,这一点共识没有反映出来。"即使是现有的EUV光刻技术,值得记住的是,该技术很难在大批量制造中运行。尽管有炒作,今天只有三家芯片制造商--台积电、三星和SK海力士,目前用EUV光刻技术制造的芯片。"

那么,ASML在经济上能将其小型化技术做到什么程度?这是个大问题,比对中国实体追赶ASML的恐惧更甚。即使在公司内部,一些人也担心技术最终会限制公司的发展。

《芯片战争》作者米勒说:"巨大的长期风险是,新的光刻系统成本太高,生产起来不方便,"。"ASML将使其高NA系统上线,但之后的一代,即超NA,仍在开发中。一些ASML的工作人员猜测它可能太难大规模生产了"。

彭博社4月27日Cagan Koc, IanKing和Jillian Deutsch